Сканирующий мульти-микроскоп «СММ-2000»
предназначен и для научных исследований, и для учебных целей, сочетая в себе надёжность и наглядность работы
с высочайшими техническими характеристиками.
Микроскоп
СММ-2000 – мультирежимный, он имеет и оба базовых режима
- STM (сканирующая туннельная микроскопия, Нобелевская
премия 1986 года) и AFM (атомно-силовая микроскопия),
и более 20 дополнительных режимов исследования физических свойств образцов. Микроскоп
позволяет достигать чрезвычайно высокого
разрешения до 0.1 Ангстрем, и показывает атомы даже в условиях учебной
аудитории. Микроскопы не требуют вакуумирования и
подготовки образцов, просты, надежны и распространены больше чем электронные
микроскопы, что требует подготовки специалистов по них практически на всех технических
специальностях ВУЗ-ов.

|
Базовые режимы: сканирующая туннельная микроскопия (STM) и атомно-силовая микроскопия (AFM) Дополнительные режимы: более двадцати: AFM-виброметодики; STM- и AFM- литография, STM-спектроскопия, люминесценция и спин-поляризация, анализ
физических свойств - электропроводность, эл. потенциалы
и ёмкость, намагниченность, упругость, трение, вязкость, адгезия, теплопроводность,
пьезо-ферро-модули; Разрешение: 0.1 А (атомарное) в режиме
STM, 0.1А / 5-20А в режиме AFM по высоте / латерали; Разрешение в дополнительных режимах: 5-100А, в зависимости от зонда, физики процесса и
образца; Два сменных сканера: поля 1.5мкм/1.5мкм/0.25мкм и 20мкм/20мкм/2.5 мкм; Размер образцов: до 40мм/25мм/15мм, подвод / позиционирование
образца на 20мм / 2ммс шагом до 1нм; Условия работы: учебная аудитория или научная лаборатория, допустимость
сборки-разборки, питание 220В 3Вт Опции программного обеспечения: сканирование, кривые подвода и ВАХ, двух/трехмерные
кадры, выбор палитр, измерение размеров по сечениям, процентильные и
матричные обработки; поточечная коррекция, анализ шероховатостей ISO; Фурье, корреляционный, фрактальный,
морфологический и гранулометрический анализы; Комплектация:
головка микроскопа с виброподвеской, лазерным
датчиком и сканером; блок управления с блоком питания, шнурами и программным
обеспечением; набор ЗИП со вторым сканером и запасными зондами на 1 год работы (дополнительно
можно заказать управляющий компьютер Pentium Duo с монитором и
Windows) |
Микроскоп СММ-2000
первым в России (1998г.) прошёл Государственные
испытания и был внесен в Госреестр измерительных
средств. Успешно работает более чем в 100 научных организациях и более чем в 30
ВУЗ-ах (классы от 5 до 15
микроскопов) в России и за рубежом, имеет гарантию 1 год и срок эксплуатации и
сервиса не менее 10 лет.
|
|
|
|
|
Атомарные ступеньки пирографита кадр 88 х 88 нм, размах высот 12 А |
Атомы пирографита (С) кадр 88 х 88 А, размах высот 1.6 А |
Атомы пирографита (С) кадр 44 х 44 А, размах высот 0.6 А |
|
|
|
|
|
Затвор транзистора микросхемы (Si) кадр 6 х 6 мкм, размах высот 670 нм |
Участок Flash –микросхемы (Si) кадр 0.5х0.5мкм, размах высот 380нм |
Полиэтилен высокого давления кадр 1 х 1 мкм, размах высот 13
нм |
|
|
|
|
|
Зернистая структура меди кадр 2.1 х 2.1мкм, размах высот 98 нм |
Домены пьезокерамики
ЦТС-19 кадр 3 х 3 мкм, размах высот 10
нм |
Цитоплазматические органеллы кадр 6 х 6 мкм, размах высот 192
нм |
В режиме сканирующей туннельной микроскопии (STM) к образцу подводится платиновая игла с радиусом
заострения около 10 Ангстрем. Исследуемые объекты должны иметь
электропроводность не менее 10 кОм/мм или должны иметь толщину до 100 Ангстрем
при нанесении на проводящую подложку. Между иглой и образцом прилагается
напряжение около 1 В. На расстоянии около 10 Ангстрем с иглы на образец
начинает стекать туннельный ток порядка 1 нА, сильно зависящий от
расстояния и имеющий ширину канала стекания менее 1 Ангстрем, что определяет
разрешение СТМ. Компьютер останавливает подвод иглы и начинает сканирование
поверхности образца, поддерживая заданное оператором значение туннельного тока
путем изменения высоты зависания иглы с точностью до 1 Ангстрем, записывая
высоту иглы в каждой точке и формируя таким образом
трехмерный кадр с информацией обо всех высотах рельефа.
В режиме атомно-силовой микроскопии (AFM) можно смотреть и неэлектропроводные объекты. Здесь используется
кремниевая игла на упругой балке (кантилевер),
которая при касании образца отгибается. Отгиб меряется с точностью до 1
Ангстрема лазерным датчиком и при сканировании поддерживается постоянным путем изменения
высоты зависания основания балки. Из этих высот, так же как в STM, складывается трехмерный кадр рельефа. Разрешение
высот рельефа в АСМ находится на уровне разрешения СТМ в доли Ангстрем, а
латеральное разрешение АСМ определяется радиусом заострения его иглы и обычно
составляет 5 - 20 Ангстрем. При малой жесткости образца (менее чем у
полиэтилена) AFM можно включить в режим с вибрацией зонда и
поддержанием постоянной амплутуды его колебаний при
сканировании. При этом падает разрешение, но зонд меньше воздействует на
образец - только в нижней точке своих колебаний.